中新网浙江新闻8月21日电（张雨滴 孔嘉敏）近日，浙江省嘉兴市南湖高新区微电子产业又添一员“猛将”——光罩材料产业链项目签约仪式在嘉兴科技城（南湖高新区）智立方举行。

　　签约仪式上，项目负责人张汝京介绍，光罩也称为光掩模版，在IC制造过程中，其作用是将设计好的电路进行显影，将图形投影在晶圆上，利用光刻技术进行蚀刻，是半导体光刻工艺中所需的高精密工具。

　　据悉，该项目总投资30亿元，首期投资11亿元，主要从事光罩材料产业链相关产品的研发制造，产品包括高平整度石英基板、镀膜基板（含二元及相位移的）、保护膜等光罩产业链上游“卡脖子”的原材料。

　　项目计划于今年9月启动，2023年4月*一条生产线月达产，财务机构预估达产后年产值不低于10亿元，年税收不低于1.1亿元。

　　“在5G、人工智能、物联网等产业快速壮大的拉动下，全球半导体市场蓬勃发展，光罩作为芯片的关键原材料，市场需求不断上升。”嘉兴立恩半导体科技有限公司项目总联络人邹才明说。

　　其表示，目前，相位移（Phase Shift）、光罩基板（Mask Blanks）和保护膜（Pellicles）完全依赖进口，尤其是光罩保护膜，目前仅有海外少数几家厂商有能力生产，中国国内该方面技术仍为空白。本项目的设立，旨在成为中国光罩上游材料龙头，解决中国半导体材料“卡脖子”问题。

　　“张汝京是世界半导体行业的资深人士，也是中国半导体行业的杰出人士，此次他带领团队在南湖高新区实施光罩材料产业链项目，将对南湖区微电子产业的发展产生极大的标杆引领和驱动作用。”南湖高新区管委会副主任杨玲珠表示，南湖区将提供*流营商环境，倾尽全力为项目推进保驾护航，让项目早日投产，早日达产。

　　据了解，嘉兴科技城（南湖高新区）*一大主导产业便是微电子产业，近年来，嘉兴科技城（南湖高新区）聚焦半导体关键原材料、半导体器件、智能终端应用三个领域打造国内领先、特色鲜明的微电子产业，目前已集聚微电子产业200多家，去年工业总产值达370亿元。

　　“今年我们围绕产业链靶向招商，目前已引进微电子项目14个，预计今年微电子产业工业总产值突破400亿元。”杨玲珠介绍。（完）

　　[编辑：许昭琳] 来源：中新网浙江

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