嘉兴博瑞半导体取得化学气相沉积炉的导气座专利提升座体的使用寿命
金融界2025年8月16日消息，国家知识产权局信息显示，嘉兴博瑞半导体装备有限公司取得一项名为“一种化学气相沉积炉的导气座”的专利，授权公告号CN223226168U，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种化学气相沉积炉的导气座，属于沉积炉技术领域，旨在解决现有技术由于管路的走向不同，管路自身并不是水平排布，当处于转弯状态，会对导气座施加斜向的拉力，使得导气座被拉拽倾斜，长时间使用后，容易影响导气座与沉积炉的连接紧密性的问题。包括座体、固定架和支撑机构，座体的两端分别安装有炉体连接管、管道连接管，炉体连接管、管道连接管与座体连通；座体的外壁上固定有固定架，固定架呈U形结构，且半包围在座体的外侧，固定架上安装有支撑机构。该化学气相沉积炉的导气座，软管即使弯折排布，也可具有稳定的支撑力，支撑杆会与沉积炉的外壁紧密贴合来对拉力进行抵消，提升座体的使用寿命，减少损伤。
天眼查资料显示，嘉兴博瑞半导体装备有限公司，成立于2023年，位于嘉兴市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本200万人民币。通过天眼查大数据分析，嘉兴博瑞半导体装备有限公司专利信息13条，此外企业还拥有行政许可2个。
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